5 inländische DUV-Lithografieanlagen aus China, die weltweite Halbleiteraktien nach unten reißen.
Wird das ein „DeepSeek-Moment“ für die Chipbranche – oder ist der Markt erneut überreagiert?
Laut dem Bericht von The Information hat ein Unternehmen mit Beteiligung staatlicher Vermögenswerte aus Shanghai begonnen, inländische Immersions-DUV-Lithografieanlagen in Serie zu produzieren. In diesem Jahr plant es die Auslieferung von 5 Anlagen, im nächsten Jahr eine Ausweitung auf 20. Zu den Zielkunden gehören SMIC, Huatung/United Memory (华虹集团) und Changxin Memory (长鑫存储).
Nach Bekanntwerden der Nachricht geriet die globale Chip-Sparte schnell unter Druck:
📉 ASML fiel zeitweise um über 8 % im Tagesverlauf und löste eine Handelsunterbrechung wegen Volatilität aus;
📉 Applied Materials fiel um 7,7 %;
📉 Lam Research fiel um 8,5 %;
📉 SanDisk fiel um knapp 13 %; SK hynix (SK海力士), Micron (美光), NVIDIA (英伟达) und weitere zogen ebenfalls nach und gaben gleichzeitig nach.
Wirklich beunruhigend ist für den Markt nicht die bloße Zahl dieser 5 Anlagen an sich, sondern der Fortschritt in der dahinterliegenden Industrie.
2023 entwickelte Huawei mit DUV-Mehrfachbelichtung den Kirin 9000S; 2025 begann SMIC mit Tests an inländischen Immersions-DUVs; und nun wird erneut gemeldet, dass die Produktion und Auslieferung in die Serienphase übergegangen ist.
Dieses Tempo ist schneller als es viele Institutionen zuvor prognostiziert hatten.
Allerdings sollte man auch rational bleiben. Bis 5 Anlagen das Gefüge der globalen Lithografie grundlegend verändern, ist es noch ein weiter Weg. Aktuell steht vor allem der Zielprozess weiterhin bei 28 nm im Fokus. Theoretisch kann die Mehrfachbelichtung weiter vorangetrieben werden, doch was den Wettbewerb wirklich bestimmt, sind langfristig stabiler Betrieb, Ausbeute (Yield), Genauigkeit und Zuverlässigkeit – und all das muss erst noch durch die Praxis verifiziert werden. ASML lieferte letztes Jahr 131 Immersions-DUV-Anlagen, die Systemauslieferungen im Gesamtjahr lagen bei über 500 Stück. In der aktuellen Phase liegen beide Seiten vom Größenordnungsniveau her noch nicht auf derselben Stufe.
Daher wirkt das Ganze eher wie ein Impuls, der Erwartungen trifft, statt wie eine bereits verifizierte Produktrevolution.
Die Sorge des Marktes richtet sich nicht auf die heute ausgelieferten 5 Anlagen, sondern darauf, dass sich die chinesische Halbleiterindustrie von „unmöglich“ zu „Test“ und weiter zu „Serienproduktion“ bewegt – und die Zeit dafür sich immer weiter verkürzt.
Zusammenfassend: Das ist ein wichtiger Meilenstein dafür, dass inländische Immersions-DUVs von der Entwicklung in die Kundenvalidierung übergehen. Dennoch ist der Weg bis zur vollständigen Substitution von ASML noch weit: Es braucht noch umfangreiche technische Verifikation und Industrialisierung. Persönlich glaube ich, dass man ohne weitere negative Nachrichten vorerst kein systemisches Risiko erkennen kann.
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