Chinesische Lithografiemaschinen gehen in die „DeepSeek-Ära“? Meldungen zur Serienproduktion von einheimischen DUV-Systemen lassen die weltweiten Chipaktien abstürzen

Am 27. Juli berichtete The Information unter Berufung auf Vertraute: Ein Unternehmen, das von chinesischem staatlichem Kapital unterstützt wird, hat mit der Serienproduktion von selbst entwickelten DUV-(Deep-Ultraviolett-)Lithografiemaschinen-Herstellungsausrüstungen begonnen. Dies markiert einen wichtigen Fortschritt bei der Lokalisierung und Substitution in der chinesischen Halbleiterindustrie.

Das Unternehmen plant, im Jahr 2026 etwa 5 Stück heimische DUV-Lithografiemaschinen zu produzieren und 2027 auf rund 20 Stück auszuweiten. Im Vergleich zu den im Vorjahr von dem niederländischen Lithografie-Giganten ASML gelieferten 131 Stück immersionsbasierten DUV-Lithografiesystemen besteht weiterhin eine Lücke. Dass die heimischen Geräte jedoch in die Serienproduktion übergehen, gilt als bedeutender Durchbruch für die Eigenständigkeit der chinesischen Chip-Lieferkette.

Die ersten heimischen DUV-Geräte sollen an inländische Halbleiterfertigungsunternehmen wie Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), HuaHong Semiconductor sowie Speicherchip-Hersteller wie ChangXin Memory Technologies geliefert werden. ChangXin Memory Technologies, als repräsentatives Unternehmen der chinesischen DRAM-Industrie, gilt dabei als vielversprechendes Anwendungsfeld für heimische fortschrittliche Halbleiterausrüstungen.

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